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洁净棚内温湿度控制很关键，以下是主要方法。
空调系统调节
- 制冷/制热：安装精密空调系统，通过压缩机、加热器来调节温度。当温度传感器检测到温度高于设定值，空调制冷；低于设定值，空调制热。
- 除湿/加湿：空调系统中的除湿模块，通过冷凝作用，将空气中的水汽凝结成水滴，排到室外来降低湿度。而加湿可以通过蒸汽加湿器等设备，向空气中释放水蒸气来提升湿度。
通风控制
- 合理的换气次数：调节新风和回风的比例来控制温湿度。比如，在湿度较高的环境下，适当增加新风量，排出潮湿的空气；在干燥环境下，减少新风量防止过度干燥。换气次数一般根据洁净棚的等级和使用要求确定。
- 通风设备的联动：让通风设备与温湿度传感器联动。当温湿度超出范围，自动调节通风量和速度，以快速恢复适宜的温湿度。
温湿度监测与反馈
- 安装传感器：在洁净棚内不同位置安装高精度温湿度传感器，实时监测数据。传感器位置分布要考虑气流组织和工艺设备分布，确保采集的数据能代表整个洁净棚的实际情况。
- 自动化控制系统：将传感器与控制设备相连，形成闭环控制系统。一旦温湿度偏离设定范围，系统自动发出指令，调节空调、通风等设备，使温湿度回到设定区间。同时记录数据，用于分析温湿度变化趋势和优化控制策略。